石英板舟

更新:2013-11-19 12:44:35      点击:
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产品介绍

本实用新型公开了一种石英板舟,包括开槽石英棒、挡板和把手,所述开槽石英棒两端与挡板相连,其特征在于:所述开槽石英棒上设有至少一个透气孔洞,所述开槽石英棒有两根,在水平平面内平行设置,所述开槽石英棒底部设有支撑板。本实用新型主要用于在扩散炉中装载硅片进行高温扩散和氧化,结构简单,坚固耐用,扩散性能好。

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